5月份，美國(guó)商務(wù)部宣布將嚴(yán)格限制華為使用美國(guó)的技術(shù)、軟件設(shè)計(jì)和制造半導(dǎo)體芯片進(jìn)而保護(hù)美國(guó)國(guó)家安全，即升級(jí)對(duì)華為的芯片管制。與去年的斷供不同，這次美國(guó)商務(wù)部直接從源頭制造端進(jìn)行管制，對(duì)于半導(dǎo)體制造全流程而言，特別是先進(jìn)制程工藝中，目前幾乎不能離開美系設(shè)備。這次禁令，引發(fā)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)對(duì)于半導(dǎo)體制造設(shè)備的強(qiáng)烈關(guān)注。

自去年美國(guó)將多家國(guó)內(nèi)企業(yè)列入“實(shí)體清單”后，在關(guān)鍵的芯片供應(yīng)上斷供，對(duì)國(guó)內(nèi)企業(yè)造成了不小的打擊，而這使得國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一時(shí)間被推上風(fēng)口浪尖。在隨后的一年時(shí)間里，“國(guó)產(chǎn)替代”成為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的主旋律，在此期間，也促進(jìn)了很多國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體企業(yè)加速發(fā)展。

而在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的構(gòu)成中，從市場(chǎng)規(guī)模來(lái)看，集成電路占據(jù)整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)超過(guò)80%的份額。因此，美國(guó)商務(wù)部在今年5月中旬公布的關(guān)于針對(duì)華為的出口管制中，華為無(wú)法使用美系的芯片設(shè)計(jì)軟件，同時(shí)臺(tái)積電等晶圓代工廠也將無(wú)法利用美系半導(dǎo)體設(shè)備為華為代工芯片，恰好是從芯片制造的源頭直接掐斷了華為自研芯片。

事實(shí)上，半導(dǎo)體設(shè)備所包含的范圍很廣，包括有LED設(shè)備、分立器件設(shè)備、集成電路設(shè)備等等。盡管當(dāng)前在LED領(lǐng)域，國(guó)內(nèi)在全產(chǎn)業(yè)鏈都已經(jīng)有相對(duì)成熟的布局，但目前對(duì)于關(guān)鍵的集成電路制造而言，仍遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)際先進(jìn)水平。

而在全球半導(dǎo)體設(shè)備制造商中，領(lǐng)先企業(yè)主要分布在美國(guó)、日本、荷蘭三個(gè)國(guó)家。據(jù)VLsi Research數(shù)據(jù)顯示，2019年，全球Top15的半導(dǎo)體設(shè)備生廠商中，日本有8家生產(chǎn)商入榜；美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入則占全球市場(chǎng)49%，排在第一。

因?yàn)槲惶幨澜缰圃熘行?，特別是電子產(chǎn)品等對(duì)于芯片需求巨大，中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模占據(jù)全球近35%的比重。但相比之下，中國(guó)大陸芯片制造僅占全球份額的10%左右。同時(shí)，按照IC insights 2018年的數(shù)據(jù)看，我國(guó)集成電路自給率僅僅為13%，盡管預(yù)計(jì)2020年有望達(dá)到15%，但仍處于較低水平。

越上游占比越低。在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，美、日系企業(yè)壟斷下，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備全球份額僅有可憐的2%，設(shè)備自給率不到10%，幾乎沒(méi)有存在感，這與全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模形成強(qiáng)烈反差。

對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的現(xiàn)狀，南京宏泰半導(dǎo)體科技有限公司總經(jīng)理包智杰表示：“中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備相比于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、封裝行業(yè)而言更為落后，這其中品牌、人才、技術(shù)都是很重要的因素?！?/p>

畢竟，相比于設(shè)計(jì)，半導(dǎo)體設(shè)備需要更長(zhǎng)時(shí)間的產(chǎn)品應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。據(jù)包智杰介紹，半導(dǎo)體設(shè)備是一個(gè)整體的系統(tǒng)，其中包括軟硬件、自動(dòng)化、底層FPGA算法等等。同時(shí)設(shè)備在產(chǎn)線上往往是24小時(shí)運(yùn)作，這就涉及到設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性、長(zhǎng)期精度的一致性等問(wèn)題。所以半導(dǎo)體設(shè)備其實(shí)是系統(tǒng)的工程，如果單做其中的一個(gè)模塊，會(huì)比較容易，但結(jié)合到一起就會(huì)產(chǎn)生很大的工程量。

與此同時(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的典型特征就是高技術(shù)、高投入，上海微電子裝備股份有限公司市場(chǎng)開發(fā)部經(jīng)理唐世弋表示，尤其是大型設(shè)備的前期資本投入巨大，成本回收周期長(zhǎng)，從研發(fā)開始到客戶測(cè)試、中期迭代修改，需要很多年時(shí)間。

作為國(guó)內(nèi)光刻機(jī)龍頭企業(yè)，唐世弋表示他們也面臨很多問(wèn)題：“在光刻機(jī)上很多系統(tǒng)性的問(wèn)題需要解決，而在這方面我們經(jīng)驗(yàn)不足。同時(shí)，國(guó)內(nèi)基礎(chǔ)材料和精密加工業(yè)薄弱，我們?cè)O(shè)計(jì)出來(lái)的鏡頭在國(guó)內(nèi)找不到能夠加工的公司，玻璃材料也買不到，到國(guó)外采購(gòu)的話可能會(huì)受到制約。因此我們只能將這些部件分拆到各地去做，但這又會(huì)拉長(zhǎng)研發(fā)時(shí)間?！?/p>

確實(shí)，從當(dāng)前的國(guó)際環(huán)境來(lái)看，歐美等國(guó)對(duì)中國(guó)崛起的擔(dān)憂，使得中國(guó)近年來(lái)在各個(gè)高科技領(lǐng)域都受到了不同程度的制裁。半導(dǎo)體設(shè)備作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中最重要的一環(huán)，國(guó)家目前已將其視為戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期也明確表示投資方向?qū)⒅赜诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的設(shè)備等領(lǐng)域。但有國(guó)家基金支持的同時(shí)，還需要晶圓廠等客戶的支持與鼓勵(lì)。